“许振鸣是外行人,能知道这台光刻机的技术原理么?”
“锦上添花没有雪中送炭来得划算,我还是等到最后再亮出底牌才好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍住了,没把自己的判断和设想说出来。他转过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的小组成员已经进入状态,把激光能量测试仪、激光光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“郝教授,咱们开始试验,第一步是测试激光能量的衰减率。”
“开始试验!把能量测试仪调整到自动调节运行状态,每一个0.001毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激光光路系统的能量测试难度非常大,空间高度每相差0.001毫米,激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。但他此时却不慌不忙,好像已经知道测试以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.009的数据级。”
“第二个节点数据也正常,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视器上的数据在不断跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也不自觉的说出测试数据的结果。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产的激光光路系统质量非常稳定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁说不是呢。体积小功率大,噪音也小,功耗还非常低。要是我们生产的激光光路系统能达到这种标准就好了。”
“我们的激光发生器做不到这一点。机械加工精度不如人家、光学仪器加工精度不如人家、光学材料的质量不如人家。我们拿什么来人家比?”
胡磊和李峰两个老头子,一边关注着监视器,一边无奈的摇着头。他们在赞叹这台激光光路系统的同时,又有点无可奈何。
作为华夏国培养出来的第一代光学工程专家,他俩要比大多数华夏工程更具有集团荣誉感。在他们青春年少的时代,华夏国就连最普通的军用望远镜都要从东德和捷克进口。
正是因为他们这代人的努力,华夏国的普通光学仪器,都已经能自足自给了。这也算是一项了不起的创举。
在光学产品这方面,德国人蔡司公司一直都是领头羊,从来都没有被超越过。
蔡司公司有专门的光学研究大学、研究所,累计投入的研究资源无法估计,一般的国家凭啥能随意超过它?除非像白熊国和米国一样,以战胜者的身份踏入德国,拿走现成的研究资料。
想到这么多,胡磊的心里要平衡许多。他收回目光,看向真正忙碌的年轻助手们。
“好在我们集团公司注意梯队建设,这些小年轻就是我们国家光学仪器科学的未来。”胡磊的心情好了许多,嘴角泛起一丝微笑。
“郝总,第一遍测试已经完成,现在要重新做一遍测试吗?”就在这时,负责操控激光能量测试仪的技术员转过头来询问郝宁教授。
这遍测试要消耗掩膜片、光刻试剂、中间调节试剂、激光靶子面的光学镜片等耗材,费用颇多。再做一遍测试的费用也不会少一分,技术员小张当然要征求郝宁教授的意见。
郝宁想都没想,随口就道:“当然要测试,我们的团队做事一定要谨慎。像这种例行测试,最好要做三遍才能取信实验数据。”
说完这些,他猛然想起这次实验是由梁宋松主导,自己不能乱下结论。于是,他回过头来看向梁宋松。
从内心深处来说,梁宋松比较相信米国人的产品质量。他此时胸有成竹的一笑,“英特尔公司的质检程序比我们要严格,他们公司转让过来的产品一定没问题。我认为没有必要再做试验了。”
说话间,他笑嘻嘻的看向半蹲在地上的万宁古和许振鸣。、
“万总,我们组检测的数据已经出来,这套激光光路系统的输出功率非常稳定,在空气中的衰减率完全达标。我的意见是可以结束这项测试,进行下一项的测试工作。”
“是啊,老米的产品就是好,小巧、精密、输出功率大而且稳定。”
“我们的激光光路系统若是能做到这一步就好喽。”
在梁宋松汇报完工作以后,胡磊和李峰两位老专家感慨万分的附和着。
而这时。
郝宁教授却持有不同意见,“胡老、李老,我们当前的工作重心不是研发新一代激光光路系统,而是研发这种微米的激光能量测试仪。没有这种精密测试仪器,我们再往的后路不好走啊。”
“哎……是这个道理。”
“微米级光学能量测试仪涉及到精密机械、精密控制、精密传感、尖端特殊材料等方方面面,难度不小啊郝总。”
胡磊和李峰被郝宁教授带动了思路,转而又关注到自己本职工作方面的困难。而这个困难,正是当下的华夏研究人员们共同面对的难题。
华夏国方方面面的技术储备都薄弱,汇总到一起就更加薄弱。要搞这种系统方面的工程,难度可想而知。
梁宋松来到一鸣集团公司有很长时间,对华夏国技术储备的状况非常了解。他根本就不看好国内有人能搞出尖端的光学能量测试仪。
“嗯…”
因此,梁宋松不以为然的一笑,鼻音很浓的那种笑。他虽然在刻意掩饰,却还是没能掩盖住自己不屑情绪。
“即便再难,我们也要搞自己的一套光学测试仪器。否则,我们怎么去研发第四代光刻机,或者第五代光刻机?”
大概感觉到梁宋松的不屑之意,郝宁教授有些激动的一挥手。随后他看向许振鸣,认为还要按照预定好的测试程序,对这台激光光路系统再做两遍测试。